STP全磁懸浮分子泵

入口法蘭

ISO160F

出口

KF40

抽速

  N2

650 ls-1

  H2

550 ls-1

壓縮比

  N2

>108

  H2

>105

加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭）

6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)

加熱時的極限壓力（ICF 法蘭）

10-7 Pa

(10-9 Torr)

連續出口壓力

13 Pa (0.1 Torr)

額定速度

35000 rpm

啟動時間

6 分鐘

入口法蘭溫度

120 °C

輸入電壓

100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流

啟動時的功耗

0.8 kVA

泵重量

31 kg

控制器重量

9 kg